MEMS全稱為微型電子機械系統(Micro-Electro-Mechanical System)，是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來，融合了微電子加工工藝和精密機械加工等技術制作的微米級電子機械器件，涉及微電子、機械、材料、力學、化學、生物學等諸多學科優先域。
MEMS被廣泛用于傳感器優先域，常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度計以及它們的集成產品，廣泛應用于消費電子、汽車、醫療、工業、通信、國防和航空航天等優先域。
MEMS傳感器在結構上主要由微型傳感器、微電子控制器、執行器和電源組成。
我們日常接觸多的消費電子產品中，MEMS傳感器正被廣泛的應用。一個智能手機中的MEMS傳感器就有聲學、光學、環境、運動、通信、安全和交互等，這些傳感器使得電子設備更具互動性和智能化。
